Neste trabalho foram estudadas correlações entre estrutura e
propriedades de certos revestimentos baseados em filmes finos cerâmicos,
mais especificamente carbeto de vanádio, nitreto de silício e nitreto
de titânio sobre titânio. As condições e parâmetros de deposição dos
filmes, tais como composição e fluxo dos gases reativos, temperatura do
substrato e outras, foram variados para obter filmes com composições,
densidades e espessuras convenientes. As características físico-químicas
dos filmes foram determinadas mediante a utilização de um grande número
de ferramentas analíticas, descritas no texto. A avaliação do
comportamento mecânico, tribológico e de resistência à corrosão dos
filmes também foram determinadas por um apreciável número de métodos, os
quais são descritos em detalhes no texto. Os resultados indicam algumas
correlações importantes entre dureza, resistência ao desgaste e
resistência à corrosão por um lado, e composição, densidade real e
estrutura cristalina, por outro lado. Da mesma forma, foi possível
estabelecer fatos novos sobre a adesão de filmes finos a substratos de
aço e o transporte de diferentes espécies químicas envolvidas através de
estruturas TiN/Ti/aço nitretado. Perspectivas para a continuidade do
trabalho de pesquisa aqui relatado são discutidas no capítulo de
Conclusões.
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