Notas de aula do curso de Fundamentos de implantação iônica

Curso oferecido na XV Escola de Verão "Jorge André Swieca" de Física Nuclear Experimental - 2008.

Temas:
"Sputtering"
"Layer Mixing"
 Modificação de semicondutores
 Métodos de análise
(PIXE, RBS, SIMS)

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