Resumo: Neste trabalho, investigou-se a influência da implantação iônica
sobre as propriedades de filmes finos de polímero depositados a partir
de plasmas de radiofrequência (40 MHz, 70 W) de dois compostos orgânicos
(acetileno e benzeno) e de suas misturas com gases nobres. As
irradiações foram realizadas em um implantador iônico, com íons He+ , N+
e Ar+ , à fluências entre 1018 e 1021 íons/m2 e energias de 50 a 150
keV. As propriedades estruturais e ópticas dos filmes foram analisadas
por espectroscopias no infravermelho e no ultravioleta-visível,
respectivamente. Através de Ressonância Paramagnética de Elétrons, foi
verificado que o bombardeamento iônico produz radicais livres na
estrutura polimérica. A concentração destas espécies no filme foi
investigada em função da energia e da fluência do feixe iônico.
Variações nas concentrações dos elementos químicos presentes nas
amostras com o bombardeamento iônico foram investigadas por
Espectroscopia de Retro-espalhamento Rutherford. A espessura dos filmes
foi medida com um perfilômetro, e associada aos dados obtidos por RBS,
permitiu a determinação da densidade dos polímeros. Medidas de dureza
dos filmes foram realizadas com a técnica de nanoindentação. Usando o
método de duas pontas foi determinada a resistividade elétrica dos
filmes e, através da exposição a plasmas de oxigênio, foi avaliada a
resistência à oxidação. A interpretação dos resultados foi baseada nos
perfis de perda de energia dos íons obtidos com o programa TRIM
(TRansport of Ions in Matter).
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