A medida da rugosidade de uma superfície costuma produzir resultados que
dependem da metodologia empregada. A microscopia eletrônica de
varredura, SEM, a microscopia de força atômica, AFM e a perfilometria
são algumas das técnicas costumeiramente empregadas na caracterização de
superfícies rugosas. Esse trabalho explora a e desenvolve o uso da
espectrometria de retroespalhamento Rutherford, RBS, para medir e
quantificar a rugosidade de uma superfície. Quatro diferentes amostras
com rugosidade periódica e controlada (duas retangulares e duas
senoidais) com razão de aspecto suficientemente grande que produzam
efeitos mensuráveis por RBS, foram produzidas por interferometria
óptica. Os espectros RBS experimentais foram convertidos em rugosidade
rms e comparados com resultados de SEM e AFM. Medir rugosidade através
de RBS permite inspecionar uma área (da ordem de alguns mm2) e
profundidades muito maiores que as acessíveis por AFM, apesar de ainda
limitados pela resolução em energia intrínseca da metodologia RBS.
[Download]
Nenhum comentário:
Postar um comentário
Comente, discuta, participe!